[9p-Z13-1~14] 3.13 半導体光デバイス

[9p-Z13-3] ベイズ最適化を用いた酸化チタンパッシベーション膜における水素プラズマ処理条件の最適化

〇宮川 晋輔¹、後藤 和泰¹、沓掛 健太朗²、黒川 康良¹、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.理研AIP)

キーワード：結晶Si太陽電池, パッシベーション, 水素プラズマ処理