[9p-Z13-1~14] 3.13 半導体光デバイス

[9p-Z13-4] シリコンナノ結晶/酸化シリコンを複合化した導電性パッシベーション膜の検討

〇津幡 亮平¹、後藤 和泰¹、黒川 康良¹、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工)

キーワード：結晶Si太陽電池, パッシベーション, シリコン酸化膜