[9p-Z13-1~14] 3.13 半導体光デバイス

[9p-Z13-6] 溶液プロセスによる酸化チタン薄膜の作製とパッシベーション性能の評価

〇羅 昊¹、Van Hoang Nguyen¹、後藤 和泰¹、黒川 康良¹、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工)

キーワード：酸化チタン, パッシベーション, スピンコート