[9p-Z18-1~21] 3.7 レーザープロセシング

[9p-Z18-15] 二光束レーザーアブレーションによる10-nm薄膜微細加工

〇上杉 祐貴¹、三輪 泰斗¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大)

キーワード：レーザーアブレーション, 薄膜, ナノ加工

厚さが100 nmを下回るナノ薄膜材料の加工は，電子顕微鏡法における透過型素子や，薄膜型のMEMS（micro opto electronic systems）の製造において近年注目されている．我々は，化学エッチングやFIB加工を使った従来の手法でも実現が困難な厚さ10 nmの薄膜を，レーザーアブレーションによって効率的かつ簡便に，サブマイクロメートルの分解能で加工できることを示した．