[9p-Z18-1~21] 3.7 レーザープロセシング

[9p-Z18-7] 円偏光LIPSS形成のレーザーパルス積重数依存性

〇松浦 英徳¹、宮川 鈴衣奈¹、江龍 修¹ (1.名工大院)

キーワード：レーザー誘起周期構造, 窒化ガリウム, 円偏光

レーザー誘起周期構造（laser-induced periodic surface structure; LIPSS）は、レーザー照射によって基板表面に形成されるナノオーダーの周期構造である。LIPSSによるデバイスの特性制御を目指し、デバイス特性に影響を与えるLIPSSの形状制御を試みてきた。レーザーの偏光によってLIPSSの形状が変化することが知られているが、特に円偏光についての報告は少なく、構造形成の過程が明らかになっていない。本研究では、レーザーパルス積重数を変化させ円偏光レーザーによるLIPSS形成過程を調べた。