[9p-Z19-1~16] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

[9p-Z19-3] SiNx光導波路集積ダイヤモンドセンサ構造の設計

〇大礒 義孝¹、横村 優太¹、西山 伸彦¹、丸山 武男²、雨宮 智宏¹、岩﨑 孝之¹、波多野 睦子¹ (1.東工大工、2.金沢大理工)

キーワード：シリコンフォトニクス

ダイヤモンドNV センタのセンサ応用は、波長532 nm 励起光とマイクロ波を入力し、ダイヤモンドからの赤色の蛍光を検出するというもので、様々な磁気センサ応用が期待されている。しかしながら、多くの場合、緑色の入力光は、ダイヤモンドへ空間光学的に当てているという手法を取っており、今後のセンサの性能向上には、励起光の強度分布の均一化、高効率化、大面積化などが要求されることが予想される。そこで、SiN導波路を用いた光回路を設計したので、その検討結果を報告する。