[9p-Z19-1~16] 3.15 Silicon photonics and integrated photonics

[9p-Z19-9] Fabrication and Evaluation of Si Plasmonic Waveguide heater with Metal

〇Tomohiro Miyauchi¹, Koji Yamada¹, Hiromasa Shimizu¹, Mitaro Namiki¹ (1.Tokyo Univ. of Agri. & Tech.)

Keywords:waveguide

Si光導波路上に金属を製膜することで、Si中の導波モードと表面プラズモンポラリトンが結合したハイブリッドプラズモンモードが励起される。伝搬損失は金属のジュール損失により熱エネルギーに変換されるため導波路上部を局所的に加熱するヒータに応用可能である。本研究では、Si導波路上へのAu薄膜の作製と光吸収に伴う発熱を通じた強磁性層の磁化反転を目的とし、Si導波路ヒータを設計・試作し、伝搬損失を評価したので報告する。