[9p-Z19-1~16] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

[9p-Z19-9] 金属積層Siプラズモン導波路ヒータの作製と評価

〇宮内 智弘¹、山田 浩史¹、清水 大雅¹、並木 美太郎¹ (1.農工大工)

キーワード：導波路

Si光導波路上に金属を製膜することで、Si中の導波モードと表面プラズモンポラリトンが結合したハイブリッドプラズモンモードが励起される。伝搬損失は金属のジュール損失により熱エネルギーに変換されるため導波路上部を局所的に加熱するヒータに応用可能である。本研究では、Si導波路上へのAu薄膜の作製と光吸収に伴う発熱を通じた強磁性層の磁化反転を目的とし、Si導波路ヒータを設計・試作し、伝搬損失を評価したので報告する。