[9p-Z21-1~10] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[9p-Z21-3] 波長選択励起金ナノ粒子プラズモンによるシリコンのラジカル窒化

〇北嶋 武¹、三宅 万智子¹、桑田 渉真¹、中野 俊樹¹ (1.防大電気)

キーワード：プラズマ, プラズモン, 金ナノ粒子

金ナノ粒子プラズモンによる触媒効果が近年活用されてきている。我々は金ナノ粒子から供給されるホットエレクトロンをプラズマ表面反応へ応用し、イオン衝撃によるダメージの低減と良質な極薄膜形成への活用を図ってきた。今回はプラズモン励起の波長依存性に注目し、選択的なラジカル窒化が可能な緑色光励起の効果を発見したので報告する。