[9p-Z25-1~6] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[9p-Z25-1] マジックミラー光学系を用いた立体面投影露光リソグラフィの基礎検討

〇堀内 敏行¹、小林 宏史¹ (1.東京電機大工)

キーワード：光リソグラフィ, マジックミラー―, 立体露光

露光領域内の任意緩曲面全面に一度にパターン形成する新たな方法を考え、基礎検討を行った。回転放物面鏡を上下に対向させて3次元光像を形成するマジックミラー光学系では、上ミラー頂部の開口からの光で下ミラー底部に置いた物体を照らしてその立体像を上ミラーの開口上につくる。これを利用し、下ミラー底部にも開口を開けて斜め下方から照明すれば、物体面上のパターンを同形の被露光体面に転写できると考え、結像を確認した。