The 81st JSAP Autumn Meeting, 2020

Presentation information

Oral presentation

7 Beam Technology and Nanofabrication » 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

[9p-Z25-1~6] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

Wed. Sep 9, 2020 1:00 PM - 2:30 PM Z25

Jiro Yamamoto(Hitachi), Jun Taniguchi(Tokyo Univ. of Sci.)

2:15 PM - 2:30 PM

[9p-Z25-6] Electrical characteristics and surface flattening of conductive polymer coated PET film by nanoimprint technique

Atsushi Oshima1, Tomoaki Oga1, Naho Kaneko1, Satoru Kaneko1,2, Akifumi Matsuda1, Mamoru Yoshimoto1 (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:thermal nanoimprint

軽量,フレキシビリティ,可視光透明などの特徴を持つ導電性ポリマー材料は,繰り返し変形した場合にも導電性を維持するため,デバイス基板などのエレクトロニクス応用が進展している。本研究では,原子ステップを有するモールドを用いた熱ナノインプリント法による導電性ポリマーのサブナノレベル表面平坦化と電気特性変化,および半導体薄膜堆積への影響について検討した。