[9p-Z25-1~6] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

△ [9p-Z25-6] Electrical characteristics and surface flattening of conductive polymer coated PET film by nanoimprint technique

〇Atsushi Oshima¹, Tomoaki Oga¹, Naho Kaneko¹, Satoru Kaneko^1,2, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:thermal nanoimprint

軽量，フレキシビリティ，可視光透明などの特徴を持つ導電性ポリマー材料は，繰り返し変形した場合にも導電性を維持するため，デバイス基板などのエレクトロニクス応用が進展している。本研究では，原子ステップを有するモールドを用いた熱ナノインプリント法による導電性ポリマーのサブナノレベル表面平坦化と電気特性変化，および半導体薄膜堆積への影響について検討した。