[9p-Z25-1~6] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [9p-Z25-6] 導電性ポリマー被覆PETフィルムのナノインプリント平坦化と
電気特性評価

〇大島 淳史¹、大賀 友瑛¹、金子 奈帆¹、金子 智^1,2、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)

キーワード：熱ナノインプリント

軽量，フレキシビリティ，可視光透明などの特徴を持つ導電性ポリマー材料は，繰り返し変形した場合にも導電性を維持するため，デバイス基板などのエレクトロニクス応用が進展している。本研究では，原子ステップを有するモールドを用いた熱ナノインプリント法による導電性ポリマーのサブナノレベル表面平坦化と電気特性変化，および半導体薄膜堆積への影響について検討した。