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[9p-Z29-10] High-order mode operation of graphene mechanical resonator
Keywords:mechanical resonator, graphene, High-order mode operation
前回、グラフェン機械共振器(G-MR)の高いQ値を実現するために、G-MRの小型化が有用であることを報告した。今回は、ナノ電気機械グラフェン共振器(G-NEMR)のモード結合に注目し、金属のローカルゲート構造を有した架橋G-NEMRの高次モード振動についての報告を行う。