[9p-Z29-1~17] 17.2 グラフェン

[9p-Z29-10] グラフェン機械共振器の高次モード操作

〇(M2)池本 拓史¹、中川 魁斗¹、井上 太一¹、竹井 邦晴¹、有江 隆之¹、秋田 成司¹ (1.大阪府大工)

キーワード：機械共振器, グラフェン, 高次モード操作

前回、グラフェン機械共振器(G-MR)の高いQ値を実現するために、G-MRの小型化が有用であることを報告した。今回は、ナノ電気機械グラフェン共振器(G-NEMR)のモード結合に注目し、金属のローカルゲート構造を有した架橋G-NEMRの高次モード振動についての報告を行う。