[9p-Z29-1~17] 17.2 Graphene

△ [9p-Z29-7] Improved NOX Gas Sensor Based on In2O3 Nanoparticles Modified Graphene Transistor

〇Ryota Isu¹, Akira Fujimoto¹, Yukiyasu Kashiwagi², Toshiyuki Tamai², Masatoshi Koyama¹, Kazuto Koike¹, Mitsuaki Yano¹ (1.NMRC, Osaka Inst., 2.ORIST.)

Keywords:graphene, indium oxide, gas sensor

デカン酸インジウム（In(CH₃(CH₂)₈COO)₃）を熱分解による化学合成を行うことで数十nmサイズの酸化インジウムのナノ粒子が得られることが予備検討で明らかになっている．これで得たナノ粒子を転写したCVDグラフェン上に修飾し，グラフェントランジスタとしてNO_Xガスの応答感度の向上を検討した．