[9p-Z29-1~17] 17.2 グラフェン

△ [9p-Z29-7] 酸化インジウムナノ粒子 を修飾したグラフェントランジスタの NOXガスセンシング特性の改善

〇井須 亮太¹、藤元 章¹、柏木 行康²、玉井 聡行²、小山 政俊¹、小池 一歩¹、矢野 満明¹ (1.大工大ナノ材研、2.大阪産技研)

キーワード：グラフェン, 酸化インジウム, ガスセンサ

デカン酸インジウム（In(CH₃(CH₂)₈COO)₃）を熱分解による化学合成を行うことで数十nmサイズの酸化インジウムのナノ粒子が得られることが予備検討で明らかになっている．これで得たナノ粒子を転写したCVDグラフェン上に修飾し，グラフェントランジスタとしてNO_Xガスの応答感度の向上を検討した．