10:15 〜 10:45 [14a-A401-3] 半導体メモリ絶縁膜特性解明に対する電子顕微鏡を中心とした分析的アプローチ 〇杉山 直之1,2、生田目 俊秀2、上杉 文彦2、内城 貴則1、川崎 直彦1 (1.(株)東レリサーチセンター、2.物材機構)