16:15 〜 16:30 △ [12p-A201-6] VB法β-Ga2O3結晶成長における成長速度の計算と制御 〇(M1)松木 雄太1、小林 壮1、太子 敏則1、干川 圭吾1,2、大葉 悦子2、小林 拓実2 (1.信州大工、2.不二越機械工業)