16:00 〜 18:00 △ [14p-PB10-5] Si結晶中のドーパントの安定性に与える等方性応力の影響 〇岩城 浩也1、末岡 浩治2、鳥越 和尚3、小野 敏昭3 (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工、3.株式会社SUMCO)