09:30 〜 11:30 △ [13a-PA1-15] 微細加工した温度応答性感光樹脂薄膜における巨視的相転移の観察 〇藤本 美穂1、松谷 晃宏1、栁田 保子2 (1.東工大マイクロプロセス、2.東工大未来研)