16:00 〜 18:00 [13p-PA9-10] アルカリ溶液エッチングを用いたAlN構造体形成とGaN結晶成長 〇中村 昌幸1、小林 貴之1、幸 康一郎2、井本 良2、岡田 成仁2、立田 利明1、只友 一行2、本山 慎一1 (1.サムコ、2.山口大)