16:00 〜 16:15 [13p-A305-7] Multi-Sidewall TLMを用いた精密なInAs/Ni-InAs間の接触抵抗率測定 〇隅田 圭1、竹安 淳1、加藤 公彦1、トープラサートポン カシディット1、竹中 充1、高木 信一1 (1.東大院工)