14:15 〜 14:30 △ [15p-A304-5] RFプラズマ中における微生物浮遊現象の挙動分析 〇(M1C)川出 恭隆1、三瓶 明希夫1、米田 至1、赤松 慧太1、落合 遼太朗1、林 康明1、比村 治彦1 (1.京工繊大)