14:15 〜 14:30 [12p-B401-5] コンタクトレス光電気化学エッチングによるリセスゲート AlGaN/GaN HEMT の作製 〇(D)渡久地 政周1、三輪 和希1、堀切 文正2、福原 昇2、成田 好伸2、市川 磨2、磯野 僚多2、田中 丈士2、佐藤 威友1 (1.北大量集センター、2.サイオクス)