16:30 〜 16:45 [12p-B401-13] 界面顕微光応答法を用いた窒化物半導体HEMT上のショットキー電極の2次元評価 〇内田 昌宏1,2、川角 優斗2、西村 一巳1、塩島 謙次2 (1.NTT-AT、2.福井大院工)