16:00 〜 18:00 [13p-PA9-23] 3次元スケーリングによるスーパージャンクションIGBTの性能向上 〇柏嶋 始1、福井 宗利1、竹内 潔1、小林 正治1,2、平本 俊郎1 (1.東大生研、2.東大d.lab)