13:30 〜 15:30 [14p-PB4-15] ガラス基板上に蒸着されたアルミニウム薄膜の大気圧プラズマジェットを用いた横方向エッチング ~表面温度のプラズマ照射時間依存性~ 〇平島 伊織1、桑畑 周司1 (1.東海大工)