10:15 〜 10:30 [12a-A302-6] 原料ガス交互供給によるBN薄膜のCVD成長機構 〇山田 永1、井爪 将1,2、山田 寿一1、清水 三聡1,2 (1.産総研GaN-OIL、2.名大)