13:00 〜 13:15 [12p-D221-1] 熱電発電の高出力化に向けたAl 誘起層交換Si1-xGex 膜の厚膜合成 〇小澤 知輝1、草野 欽太1、末益 崇1、都甲 薫1,2 (1.筑波大院、2.JST さきがけ)