14:00 〜 14:15 [13p-D209-3] MOD法による V0.75Ti0.25O2薄膜の作製条件の検討 〇藤城 雄飛1、河原 正美2、佐村 剛2、立木 隆1、内田 貴司1 (1.防衛大学校 電気電子、2.高純度化学研)