10:00 〜 10:15 [14a-D221-5] ヘテロエピタキシャルダイヤモンド基板の結晶性とショットキーバリアダイオード特性 〇大曲 新矢1、小林 篤史1、坪内 信輝1、山田 英明1 (1.産総研)