13:30 〜 15:30 [14p-PB2-5] 直接貼付InP/Si基板の加熱処理プロセスの依存性について 〇(B)佐藤 元就1、白井 琢人1、石崎 隆浩1、対馬 幸樹1、澁川 航大1、藤原 啓太1、韓 旭1、松浦 正樹1、下村 和彦1 (1.上智大理工)