09:30 〜 11:30 [15a-PA5-24] ミストCVD法を用いたフレキシブルなワイドギャップ酸化物半導体のエピタキシャル成長 〇新田 悠汰1、西中 浩之1、島添 和樹1、田原 大祐1、吉本 昌広1 (1.京工繊大)