09:30 〜 09:45 [14a-A305-3] ハーフインチサイズパッケージのレーザビア接続信頼性(II) 〇居村 史人1,2、井上 道弘1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)