16:45 〜 17:00 △ [13p-D221-8] パルスレーザ堆積法による ScN 薄膜のエピタキシャル成長 〇佐藤 大知1、横山 竜1、相馬 拓人1、大友 明1,2 (1.東工大、2.元素戦略)