14:45 〜 15:00 [12p-B401-7] 加熱による硫酸ラジカルの生成とn-GaN光電気化学(PEC)エッチングへの応用 〇(M1)三輪 和希1、大神 洸貴1、渡久地 政周1、堀切 文正2、福原 昇2、成田 好伸2、吉田 丈洋2、佐藤 威友1 (1.北大量集センター、2.サイオクス)