09:30 〜 11:30 [12a-PA2-62] 原子層積層構造の平坦化法の検討 〇上田 哲大1、堀田 貴都1、上野 啓司2、渡邊 賢司3、谷口 尚3、北浦 良1 (1.名大院理、2.埼玉大院理工、3.物材機構)