16:00 〜 18:00 [13p-PA9-2] 高温熱処理されたMOVPE p-GaNの浅い準位の評価 〇(M1)吉田 光1、寺部 知世1、安井 裕喜1、竹内 和歌奈1、徳田 豊1、成田 哲生2、冨田 一義2,3、加地 徹3 (1.愛知工大、2.豊田中央研究所、3.名古屋大学)