09:30 〜 11:30 △ [15a-PA5-10] ミストCVD法による準安定相rh-ITO薄膜のエピタキシャル成長と評価 〇(M1)島添 和樹1、西中 浩之1、田原 大祐1、新田 悠汰1、吉本 昌広1 (1.京工繊大)