09:30 〜 11:30 [15a-PA5-22] 欠陥物性評価に向けたRFリアクティブマグネトロンスパッタ法を用いたNiOのエピタキシャル成長 〇西本 啓介1、金 冑男1,2、杉山 睦1,2 (1.東理大 理工、2.東理大 総研)