2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

小笠原 凱

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発表者・著者、共著者

2020年3月12日(木) 13:45 〜 16:15 D519 (11-519)

  • 一般セッション(口頭講演)
  • | 15 結晶工学
  • | 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[12p-D519-1~10] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

15:15 〜 15:30

△ [12p-D519-7] Si基板へのイオン注入とレーザーアニールで作製したSi1-x-yGexSny薄膜の歪評価

〇小笠原 凱1、小孫 翔大1、横川 凌1,2、吉岡 和俊1、澤本 直美1、Borland John3、黒井 隆4、川崎 洋司5、小椋 厚志1,6 (1.明治大理工、2.学振特別研究員 DC、3.J.O.B. Technologies、4.日新イオン機器株式会社、5.住友重機械イオンテクノロジー株式会社、6.再生可能エネルギー研究インスティテュート)