09:30 〜 11:30 [15a-PA5-4] Al添加ZnO薄膜のPLD成長における成長分圧依存および熱処理効果 〇(M1)熊谷 敏宏1、大浦 紀頼1、和田 英男1、小山 政俊1、前元 利彦1、佐々 誠彦1 (1.大阪工大 ナノ材研)