09:30 〜 11:30 [15a-PA5-19] ミストCVD法によるβ-Ga2O3(-201)基板上へのε-Ga2O3薄膜のエピタキシャル成長 〇梶田 優気1、西中 浩之1、田原 大祐1、新田 悠汰1、吉本 昌広1 (1.京工繊大)