14:30 〜 14:45 △ [14p-A305-4] 水素プラズマによる固体SiからのオンサイトSi2H6生成 〇(M2)浜中 恵一1、谷口 大介1、垣内 弘章1、安武 潔1、大参 宏昌1 (1.阪大院工)