12:00 〜 12:15 △ [12a-D419-12] 水系前駆体溶液とエキシマ光アシストアニーリングによる溶液プロセスを用いた酸化インジウム薄膜の低温形成 〇(M1)高野 圭祐1、大浦 紀頼1、小山 政俊1、前元 利彦1、佐々 誠彦1、竹添 法隆2、清水 昭宏2、伊藤 寛泰2 (1.大工大 ナノ材研、2.ウシオ電機)