16:45 〜 17:00 △ [14p-A305-12] 【注目講演】ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討 〇市川 崇志1、渥美 賢1、古賀 達也1、山根 大輔1、飯田 慎一2、伊藤 浩之1、石原 昇1、町田 克之1、益 一哉1 (1.東工大、2.NTT-AT)