11:00 〜 11:15 [14a-A302-8] 高温熱処理したスパッタAlN膜の熱歪解析 〇林 侑介1、上杉 謙次郎2、正直 花奈子3、三宅 秀人3,4、藤平 哲也1、酒井 朗1 (1.阪大院基礎工、2.三重大地域戦略、3.三重大院工、4.三重大院地域イノベ)