09:45 〜 10:00 [14a-A305-4] ミニマルイオンミリング装置の開発と加工特性 〇佐藤 和重1,4、高橋 俊次3、田 昭治3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.片桐エンジニアリング、4.坂口電熱)