13:30 〜 13:45 △ [12p-A202-2] 局所DLTSを用いたSiO₂/Si界面におけるバイアスストレスの影響評価に関する検討 〇(B)鈴木 小春1、山末 耕平1、長 康雄1 (1.東北大通研)